在洁净室中，高效过滤器是实现高洁净度空气净化的关键设备。10万级以上洁净度级别的洁净室普遍采用高效过滤器(HEPA)，但高效过滤器安装后能否达到设计要求，在很大程度上取决于HEPA的安装质量。

高效过滤器一旦出现泄漏，洁净室尘埃粒子和细菌数均可能出现超标的现象，从而影响到产品质量。对高效过滤器进行检漏，是为了发现发现高效过滤器及其安装的缺陷所在，以便采取补救措施。

检漏试验是粒子测定的基础，其重要性不亚于粒子测定。

检漏试验和空气流速达到了规定要求，气流均匀度也在规定的控制范围内，自然洁净度也有了保证。

导致高效过滤器泄漏的原因主要有两点，一是安装过程高效过滤器损坏，二是安装密封性不合格。

高效过滤器检漏的安装是空调系统和洁净室施工安装的关键，应注意以下几点：

1、安装前，要清洁车间。如果安装在天花板上，天花板应该被打扫。

2、只有在安装现场，安装时间才被拆卸，HEPA过滤器应在包装后去除，目视检查，并具体要求测试数据的各项性能指标，而不是一般的打印限值数据。

3、安装和检漏的关键是空气滤清器的密封质量。

所有级别的洁净厂房都需要安装高效过滤器检漏。当前的规范没有给出检查数量时，它可以占自身的百分比。

清洁度等于或高于清洁车间的100级，安装前必须进行现场检漏，关键是检查过滤器是否有渗漏或渗漏等质量问题。

4、各过滤器之间的阻力差会影响风量和空气分布的平衡，应安装空气过滤器，以消除个别阻力过高或过低的问题。

相同大小的空气过滤阻力，在同一房间内的不同空气过滤阻力也应分散位置。