高效过滤器安装后的检漏工作是确认安装质量较为重要的一步，检测高效空气过滤器送风口的整个面，过滤器的周边，过滤器外框和安装框架之间的密封处。检漏时，从过滤器的上风侧引入测试气溶胶，并立即在其下风侧进行扫描。这项测试一般在洁净室（区）的“空态”或“静态”进行。

高效空气过滤器安装后的检漏方法有光度计法和粒子计数器法。光度计法一般用于带小型空气处理系统的洁净室或安装有气溶胶注入点的管路系统，可达到规定的高浓度测试气溶胶；由于粒子计数器法的灵敏性好和污染少，一般都采用粒子计数器法进行高效空气过滤器安装后的检漏。

采用光度计法进行扫描检漏时，被测试的过滤器的最高穿透粒径的穿透率等于或大于0.005%。所采用的测试气溶胶不应对洁净室（区）内的产品或工艺设施带来影响。

在进行光度计法检漏前，被测试过滤器应在额定风速的80%至120%与之间运行，并确认其送风的均匀性。

被测试过滤器的上风向引入的气溶胶的浓度应为10mg/m3 至100 mg/m3 。浓度低于20 mg/m3 时，将会降低检漏的灵敏度，而浓度高于80 mg/m3 时，若长时间测试会造成过滤器的污堵。在过滤器检漏前应确认气溶胶的浓度和均匀性。

检漏扫描时，若采用3cm×3cm方形探管，扫描速度不得超过5cm/s，矩形探管的最大面积扫描率不得超过15C㎡/s。在扫描过程中，若显示有等于或大于限值的泄漏时，则应将探管停留在泄漏处。高效空气过滤器的泄漏限值是指超过上风向测试气溶胶浓度10-4 的泄漏，或与业主协商确定。

采用粒子计数器法进行扫描检漏时，被测试的空气过滤器最高穿透粒径的穿透率大于或等于0.00005%。不允许采用可能沉积在过滤器或管道上的挥发性油光尘的测试用气溶胶。

在进行粒子计数器检漏前，被测试过滤器应在额定风速的70%至130%之间运行，并确认其送风的均匀性。

被测试过滤器的上风侧应引入浓度均匀的大气尘或添加含有其他气溶胶的空气，使之达到所需的测试气溶胶浓度。对微粒大于等于0.5μm时，测试气溶胶的浓度应大于等于3.5×105 C/m3 ；对于大于等于0.1μm的微粒，其浓度应大于等于3.5×109 PC/m3 。

检漏扫描时，采样口距离被测部位应小于5.0cm，以0.05m/s的速度移动。空气高效过滤器下风侧测试得到的泄漏浓度换算的透过率，不得大于该过滤器出厂合格透过率的3倍。

安装在管道或空气处理机内的高效空气过滤器的检漏，检测可采用光度计法或粒子计数器法。用于安装在管道或空气处理机内的最易穿透粒径的穿透率大于0.005%的高效空气过滤器的检漏。

检漏时，被检测过滤器就在设计风速的70%~130%之间运行，并确认其送风均匀性。上风向引入的大气尘或气溶胶浓度应能满足在下风向测试得到具有统计意义的读数。

测试时，应将采样口距离被测部位30cm至100cm处，在管道中应距管壁2.5cm，记录实测的含尘浓度。

高效空气过滤器检漏的限值，采用光度计法时，不得超过10-4 （0.01%）；采用粒子计数器法时，不得大于出厂合格透过率的3倍。